產(chǎn)品名稱(chēng)：HMDS真空干燥箱（高真空干燥箱）

產(chǎn)品型號(hào)

BPZ-6060MS

BPZ-6090MS

BPZ-6060HV

BPZ-6090HV

產(chǎn)品特點(diǎn)

用途概述：

HMDS真空干燥箱用于半導(dǎo)體晶圓在進(jìn)行HMDS預(yù)處理工藝中的干燥，通過(guò)程序設(shè)定，使抽真空-通氮?dú)?抽真空-等實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)HMDS預(yù)處理工藝過(guò)程，用于光刻過(guò)程的涂膠工藝；

高真空干燥箱可在潔凈環(huán)境下使用，滿(mǎn)足潔凈環(huán)境下的高真空，無(wú)塵生產(chǎn)工藝，半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)工藝車(chē)間使用，用于半導(dǎo)體、電子、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表等領(lǐng)域的無(wú)氧化干燥工藝；

產(chǎn)品特點(diǎn)
● 采用智能觸摸屏控制，溫度、真空度、時(shí)間等直接設(shè)定，菜單式操作，操作維護(hù)方便；
● 工作室采用316不銹鋼，更好耐酸堿腐蝕，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用，便于清潔；
● 長(zhǎng)方形真空室，使有效容積大，能充分利用空間；
● 彈性雙層鋼化玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體，一目了然；
● 箱門(mén)閉合松緊可調(diào)節(jié)，整體成型的合成硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)高真空度；
● 增設(shè)超溫保護(hù)溫控口，有效的防止溫度失控等安全問(wèn)題；（選配）
● 低噪聲專(zhuān)業(yè)真空泵，真空控制穩(wěn)定可靠；（HMDS真空干燥箱）
● 采用內(nèi)膽加熱，箱體內(nèi)無(wú)任何電子元器件，無(wú)污染，不易被腐蝕，使用更加安全；
● 采用超高真空泵，能夠保證箱體內(nèi)真空度達(dá)1.0×10-4Pa；(高真空干燥箱)
程序控制
● 程序控制操作，可根據(jù)工藝需求設(shè)定加熱、真空度設(shè)定、通氮、時(shí)間等參數(shù)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)程序控制，確保每批次烘烤一致性，降低產(chǎn)品的烘烤差異性；
● 具有485通訊接口，可以通過(guò)外置軟件程序?qū)嵤┎榭丛O(shè)備運(yùn)行狀況和程序運(yùn)行狀況，保證設(shè)備一直運(yùn)行在監(jiān)控當(dāng)中；
技術(shù)參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)\型號(hào)	HMDS真空干燥		高真空干燥箱
	BPZ-6060MS	BPZ-6090MS	BPZ-6060HV	BPZ-6090HV
電源電壓	AC220V 50HZ		AC220V 50HZ
輸入功率	3000W	3500W	3000W	3500W
控溫范圍	RT+10~250℃		RT+10~200℃
溫度分辨率/波動(dòng)度	0.1℃ /±1℃		0.1℃ /±1℃
達(dá)到真空度	100Pa		1.0×10-4Pa極限真空度
真空度顯示	電子式真空度顯示		電子式真空度顯示
工作環(huán)境溫度	＋5～40℃		＋5～40℃
內(nèi)膽尺寸(mm)W×D×H	400×400×400	450×450×450	400×400×400	450×450×450
外形尺寸(mm)W×D×H	600×570×1390	610×590×1350	600×570×1390	610×590×1350
擱板	2塊		2塊
加熱方式	內(nèi)膽加熱		內(nèi)膽加熱
工作室材料	316不銹鋼		316不銹鋼

※性能參數(shù)測(cè)試在空載條件下為：環(huán)境溫度20℃，環(huán)境濕度50%RH

注：外殼可定制為304不銹鋼材質(zhì)

選購(gòu)件：（增加選購(gòu)件交貨期7天）

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